ハーモニックドライブ減速機, RV減速機ギアボックス, および高精度遊星減速機がウェーハ搬送システムのより高いレベルの自動化の実現を支援

技術の継続的な進歩に伴い, ウエハ搬送ロボットは, 半導体製造業界の需要と課題に対応するため, より高度な自動化を徐々に実現しています。

● ハーモニックドライブ減速機は, ゼロバックラッシ, 超高精度（角秒レベル）, 軽量という特長により, ウエハ搬送アーム（Wafer Handler）, 露光装置（Lithography）, クリーンルーム対応機械などの装置で一般的に使用されています。

● RV減速機ギアボックスは, 高剛性, 高トルク, 長寿命であることから, 荷重搬送用ロボットアームのベース部分によく採用されています。

● 精密遊星減速機は, 高トルク密度とコンパクトな構造を備えており, ウエハコンベヤベルト, インデックスロータリーテーブル, ウエハプリアライナなどの装置で広く使用されています。

ダイレクトドライブを採用したSCARAウエハ搬送ロボット

SCARA型ロボットは, 高精度角度センサーを位置フィードバックに使用し, ロボット動作の調整と回転角度補正を行うことで, エンドエフェクタが任意の方向を向くことを確実にします。

SCARAロボットアームのJ3およびJ4関節（前腕関節および手首関節）において, ハーモニックドライブ減速機は代替不可の役割を果たします。ハーモニックドライブの弾性フレクスプライン変形原理は機械的バックラッシを完全に排除し, これはウエハ配置精度の確保とエンドエフェクタ慣性の低減にとって極めて重要です。

密閉型RV減速機ギアボックスが真空ウエハ搬送ロボットアームを支援

RV減速機ギアボックスは, 高剛性と長寿命により, ウエハ搬送ロボットアームで一般的に使用されるコンポーネントです。真空ウエハ搬送装置では, 清浄度と安定性に対してより高い要求が課されます。

HONPINEは, 内蔵モーターを統合可能なカスタマイズ密閉型RV減速機ギアボックスを提供しています。密閉設計により, RV減速機ギアボックスは設置および使用がより容易になり, ウエハ搬送システムの設置時間を短縮し, 設計安全性を向上させます。

精密遊星減速機は高効率な伝達と多様な選択肢を提供

精密遊星減速機の多段ギア配置はエネルギー損失を最小限に抑え, 90%を超える伝達効率を実現します。この高効率なエネルギー変換特性はエネルギー消費の削減に役立ち, 企業に経済的利益をもたらします。

ウエハ搬送システムには多数の装置が必要であり, 単一のプロジェクトでもしばしば数十億規模の投資を伴います。初期投資コストと長期運用費用をいかに効果的に削減するかは, メーカーにとって重要な検討事項です。

さらに, 精密遊星減速機の多様な選択肢により, 企業は自社のニーズにより適した製品を選ぶことができます。ウエハ搬送システムの設計に応じて, 単段, 二段, または多段の減速構成を選択し, 異なる速度およびトルク要件に対応できます。

ロボット構造にはさまざまな形式があります。反復的で固定軌道を持つロボットについては, 実際の条件に基づいて適切な構造と自由度を選択する必要があります。

ロボットアームの代表的な回転ソリューションには以下が含まれます:

大アーム回転: ACサーボモーター → ハーモニックドライブ減速機/RV減速機ギアボックス/精密遊星減速機 → ベアリング接続 → 大アーム

小アーム回転: ACサーボモーター → ハーモニックドライブ減速機/RV減速機ギアボックス → ベアリング接続 → 小アーム

ウエハ搬送システム用の減速機を選定する際には, 精度, 清浄度, 速度, 荷重などの要素を総合的に考慮する必要があります。

HONPINEにお問い合わせいただき, 当社の技術専門家とともにウエハ搬送システムの精密伝達に関する課題を解決し, 最適な減速機ソリューションをお受け取りください。