高精度 ZR リニア回転ロータリーアクチュエータ

高精度 ZR リニア回転ロータリーアクチュエータ

● 概要

リニアロータリーアクチュエータ(ZR アクチュエータとも呼ばれる)は、リニア昇降(Z軸)と 360° 回転(R軸)の機能を組み合わせた、高度に統合された 2 次元モーションモジュールです。高精度なリニア動作にはリニアモーターを使用し、回転動作の駆動にはサーボモーターを使用します。2 軸を組み合わせることで、昇降、回転、角度補正などの同期複合動作を実行できます。半導体チップ実装や精密組立などの高精度用途に最適です。
お問い合わせ

特長

超薄型デザイン

高度に統合された「Z+R」構造により、設計を簡素化し、メンテナンスの容易さを確保します。


高精度な力制御
ダイレクトドライブリニアモーターとモーション制御アルゴリズムにより、同一点で繰り返し位置決めする際に±3Gの力制御偏差を実現します。


リニア回転
高精度な直線および回転動作による高速ピックアンドプレースに対応し、力と位置のデータを瞬時に読み取り、解析し、調整します。


高精度ピックアンドプレース

リニア光学式エンコーダーによりミクロンレベルの分解能を実現し、17-bitロータリーエンコーダーがピックアンドプレース時の部品の正確な位置決めを保証し、位置ずれや重なりを防ぎます。


ソフトランディング
高精度な力制御によるインテリジェントソフトランディングにより、穏やかな接触を実現し、チップのパッケージングおよび実装工程に最適で、柔軟な動作によって歩留まりを向上させます。

仕様

LRA15-50

Z軸調整可能ストローク15 mmR軸回転角度±360°
連続推力27.5 N回転エンコーダ分解能131072
ピーク推力 N70 N回転位置決め精度±0.01°
力定数17.7 N/A定格トルク0.028N ·m
連続電流1.55Aピークトルク0.142N ·m
ピーク電流4A定格電流1.11A
リニアエンコーダ分解能0.2 μmピーク電流5.33A
繰返し位置決め精度±2μcmラジアル振れ±2μm(±1μm customizable)
本体
パラメータ
厚さ50mm
制御
繰り返し
精度
20~125g±5g
電圧DC 48V±10%125g~700g±4%
使用環境5-40℃,<85%RH

自重1 kg国際規格 CE に準拠
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、適合するドライブなどの要因に関連しています

LRA25-20

Z軸
調整可能ストローク25 mm
回転角度±360°
連続推力12NR軸回転エンコーダ分解能131072
ピーク推力 N39.6 N回転位置決め精度±0.01°
力定数7.5 N/A定格トルク0.01 N ·m
連続電流1.6Aピークトルク0.043N ·m
ピーク電流5.3A定格電流0.4A
リニアエンコーダ分解能0.2 μmピーク電流1.4A
繰返し位置決め精度±2μcm
制御
繰り返し
精度
ラジアル振れ±5μcm(±1μcm カスタマイズ可能)
 本体
パラメータ
厚さ20mm20~50g±5g
電圧DC 24V±10%50g~300g±10g
使用環境5-40℃,<85%RH

自重0.74 Kg
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、適合するドライブなどの要因に関連しています。

LRA30-23

Z軸
調整可能ストローク30 mmR軸回転角度±360°
連続推力10 N回転エンコーダ分解能131072
ピーク推力 N35 N回転位置決め精度±0.01°
力定数10 N/A定格トルク0.01N ·m
連続電流1Aピークトルク0.043 N ·m
ピーク電流3.5A定格電流0.4A
リニアエンコーダ分解能0.2μcmピーク電流1.4A
繰返し位置決め精度±2μcmラジアル振れ±5μcm(±1μcm カスタマイズ可能)
本体
パラメータ
厚さ23mm
制御
繰り返し
精度
20~50g±5g
電圧DC 24V±10%50g~300g±10g
使用環境5-40℃,<85%RH

自重1.27 kg
国際規格 CE に準拠
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、適合するドライブなどの要因に関連しています

LRA30-25


調整可能ストローク30 mmR軸回転角度±360°
Z軸連続推力10N回転エンコーダ分解能131072
ピーク推力 N35N回転位置決め精度±0.01°
力定数10 N/A定格トルク0.01 N ·m
連続電流1Aピークトルク0.043 N ·m
ピーク電流3.5A定格電流0.4A
リニアエンコーダ分解能0.2 μmピーク電流1.2A
繰返し位置決め精度±2μcmラジアル振れ±5μcm(±1μcm カスタマイズ可能)
 本体
パラメータ
厚さ25mm
制御
繰り返し
精度
20~50g±5g
電圧DC 24V±10%50g~300g±10g
使用環境5-40℃,<85%RH

自重1.1 Kg
国際規格 CE に準拠
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、適合するドライブなどの要因に関連しています

LRA40-23

Z軸調整可能ストローク40 mmR軸回転角度±360°
連続推力10 N回転エンコーダ分解能131072
ピーク推力 N35 N回転位置決め精度±0.01°
力定数10 N/A定格トルク0.01 N ·m
連続電流1Aピークトルク0.043 N ·m
ピーク電流3.1A定格電流0.4A
リニアエンコーダ分解能0.2 μmピーク電流1.4A
繰返し位置決め精度±2μcmラジアル振れ±5μcm(±1μcm カスタマイズ可能)
本体
パラメータ
厚さ23mm
制御
繰り返し
精度
20~50g±5g
電圧DC 24V±10%50g~300g±10g
使用環境5-40℃,<85%RH

自重1.25 Kg


注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、適合するドライブなどの要因に関連しています

LRA60-25

Z軸調整可能ストローク60 mmR軸回転角度±360°
連続推力10N回転エンコーダ分解能131072
ピーク推力 N35 N回転位置決め精度±0.01°
力定数10 N/A定格トルク0.01 N ·m
連続電流1Aピークトルク0.043 N ·m
ピーク電流3.5A定格電流0.4A
リニアエンコーダ分解能0.2 μmピーク電流1.4A
繰返し位置決め精度±2μcmラジアル振れ±5μcm(±1μcm カスタマイズ可能)
 本体
パラメータ
厚さ25mm
制御
繰り返し
精度
20~50g±5g
電圧DC 24V±10%50g~300g±10g
使用環境5-40℃,<85%RH

自重1.5 Kg

注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、適合するドライブなどの要因に関連しています

LRA-E50-25

Z軸調整可能ストローク50 mmR軸回転角度±360°
連続推力12 N回転エンコーダ分解能131072
ピーク推力 N39.6 N回転位置決め精度±0.01°
力定数7.5 N/A定格トルク0.02 N ·m
連続電流1.6Aピークトルク0.187N ·m
ピーク電流5.3A定格電流1.14A
リニアエンコーダ分解能0.2μcmピーク電流10.7A
繰返し位置決め精度±2μcm出力軸のラジアル振れ±5μcm(±1μcm カスタマイズ可能)
 本体
パラメータ
厚さ25mm
制御
繰り返し
精度
20~50g±5g
電圧DC 24V±10%50g~300g±10g
使用環境5-40℃,<85%RH

自重1kg国際規格 CE に準拠
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、適合するドライブなどの要因に関連しています

LRA-F-15-20

Z軸調整可能ストローク15 mm
回転角度±360°
連続推力6N
最高速度2000rpm
ピーク推力17.8N
回転エンコーダ分解能131072
力定数7.9 N/AR軸回転位置決め精度±0.01°
連続電流0.76 A定格トルク0.01 N ·m
ピーク電流2.24Aピークトルク0.036N ·m
極間距離18mm定格電流1.2A
相抵抗13Ωピーク電流0.4A
相インダクタンス1.0mHトルク定数0.03 N.m/A
電圧24/48V相抵抗6.9Ω
移動質量260g相インダクタンス0.14mH
最大負荷100g電圧24/48V
リニアエンコーダ分解能0.1 μm極数1
位置繰り返し位置決め精度±2μcm出力軸のラジアル振れ±2μcm
カウンターウェイトスプリング引張ばね力制御繰り返し精度(10~400g)±1g
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、このような要因に関連しています

LRA-F-15-50

Z軸調整可能ストローク15 mm
回転角度±360°
連続推力6N
最高速度2000rpm
ピーク推力17.8N
回転エンコーダ分解能131072
力定数7.9 N/AR軸回転位置決め精度±0.01°
連続電流0.76 A定格トルク0.01 N ·m
ピーク電流2.24Aピークトルク0.036N ·m
極間距離18mm定格電流1.2A
相抵抗13Ωピーク電流0.4A
相インダクタンス1.0mHトルク定数0.03 N.m/A
電圧24/48V相抵抗6.9Ω
移動質量260g相インダクタンス0.14mH
最大負荷100g電圧24/48V
リニアエンコーダ分解能0.1 μm極数1
位置繰り返し位置決め精度±2μcm出力軸のラジアル振れ±2μcm
カウンターウェイトスプリング引張ばね力制御繰り返し精度(10~400g)±1g
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、このような要因に関連しています

LRA-F-30-22

Z軸調整可能ストローク15 mm
回転角度±360°
連続推力6N
最高速度2000rpm
ピーク推力17.8N
回転エンコーダ分解能131072
力定数7.9 N/AR軸回転位置決め精度±0.01°
連続電流0.76 A定格トルク0.01 N ·m
ピーク電流2.24Aピークトルク0.036N ·m
極間距離18mm定格電流1.2A
相抵抗13Ωピーク電流0.4A
相インダクタンス1.0mHトルク定数0.03 N.m/A
電圧24/48V相抵抗6.9Ω
移動質量260g相インダクタンス0.14mH
最大負荷100g電圧24/48V
リニアエンコーダ分解能0.1 μm極数1
位置繰り返し位置決め精度±2μcm出力軸のラジアル振れ±2μcm
カウンターウェイトスプリング引張ばね力制御繰り返し精度(10~400g)±1g
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、このような要因に関連しています

LRA-HP-25-20

Z軸調整可能ストローク15 mm
回転角度±360°
連続推力6N
最高速度2000rpm
ピーク推力17.8N
回転エンコーダ分解能131072
力定数7.9 N/AR軸回転位置決め精度±0.01°
連続電流0.76 A定格トルク0.01 N ·m
ピーク電流2.24Aピークトルク0.036N ·m
極間距離18mm定格電流1.2A
相抵抗13Ωピーク電流0.4A
相インダクタンス1.0mHトルク定数0.03 N.m/A
電圧24/48V相抵抗6.9Ω
移動質量260g相インダクタンス0.14mH
最大負荷100g電圧24/48V
リニアエンコーダ分解能0.1 μm極数1
位置繰り返し位置決め精度±2μcm出力軸のラジアル振れ±2μcm
カウンターウェイトスプリング引張ばね力制御繰り返し精度(10~400g)±1g
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、このような要因に関連しています

LRA-HP-40-23

Z軸調整可能ストローク15 mm
回転角度±360°
連続推力6N
最高速度2000rpm
ピーク推力17.8N
回転エンコーダ分解能131072
力定数7.9 N/AR軸回転位置決め精度±0.01°
連続電流0.76 A定格トルク0.01 N ·m
ピーク電流2.24Aピークトルク0.036N ·m
極間距離18mm定格電流1.2A
相抵抗13Ωピーク電流0.4A
相インダクタンス1.0mHトルク定数0.03 N.m/A
電圧24/48V相抵抗6.9Ω
移動質量260g相インダクタンス0.14mH
最大負荷100g電圧24/48V
リニアエンコーダ分解能0.1 μm極数1
位置繰り返し位置決め精度±2μcm出力軸のラジアル振れ±2μcm
カウンターウェイトスプリング引張ばね力制御繰り返し精度(10~400g)±1g
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、このような要因に関連しています

LRA-S-40-16

Z軸調整可能ストローク15 mm
回転角度±360°
連続推力6N
最高速度2000rpm
ピーク推力17.8N
回転エンコーダ分解能131072
力定数7.9 N/AR軸回転位置決め精度±0.01°
連続電流0.76 A定格トルク0.01 N ·m
ピーク電流2.24Aピークトルク0.036N ·m
極間距離18mm定格電流1.2A
相抵抗13Ωピーク電流0.4A
相インダクタンス1.0mHトルク定数0.03 N.m/A
電圧24/48V相抵抗6.9Ω
移動質量260g相インダクタンス0.14mH
最大負荷100g電圧24/48V
リニアエンコーダ分解能0.1 μm極数1
位置繰り返し位置決め精度±2μcm出力軸のラジアル振れ±2μcm
カウンターウェイトスプリング引張ばね力制御繰り返し精度(10~400g)±1g
注: 力制御の繰り返し精度は HONPINE 研究所の試験結果であり、このような要因に関連しています