超薄型ダイレクトドライブロータリーアクチュエータおよびダイレクトドライブロータリーモーターが、半導体検査、AOIシステム、光学アライメント、チップ選別、太陽光発電用ウェーハ検査、精密自動化装置において、位置決め精度、滑らかな動作、コンパクトな機械統合をどのように向上させるかをご紹介します。

DDモーターとハーモニック減速機のどちらを選ぶかは、トルクや位置決め精度だけで決まるものではありません。ダイレクトドライブモーターは、トルクを直接伝達し、高速な動的応答と最小限の機械伝達機構を実現します。一方、ハーモニック減速機は、高い減速比、高トルク密度、低バックラッシ、コンパクトな一体化を特長とします。本記事では、トルク、速度、精度、動的応答、剛性、効率、エンコーダ要件、設置スペース、用途など、10の重要な技術要素に基づいてDDモーターとハーモニック減速機を比較し、ロボット関節、CNC回転テーブル、半導体製造装置、精密自動化システムに適した回転駆動装置をエンジニアが選定できるよう解説します。

高速半導体選別・パッケージング装置では、タレットのインデックス動作において、短いサイクルタイムと再現性のある位置決め精度という2つの目標を同時に達成する必要があります。 多くのエンジニアは当初、タレットのインデックス動作を高速化する鍵は、単純に高出力のモーターを使用することだと考えがちです。しかし実際には、モーター出力だけでなく、伝達システム全体の性能の方が重要になる場合が多くあります。 従来のタレット駆動では、サーボモーターにギアボックス、カップリング、ベルト、その他の機械式伝達部品を組み合わせる構成が一般的です。これらの部品は、バックラッシ、弾性変形、摩擦、伝達誤差、さらには追加の慣性を発生させる可能性があります。 ダイレクトドライブモーターは、これとは異なるアプローチを採用しています。モーターをタレットに直接接続することで、従来の減速ギアボックスを不要にし、モーターと回転負荷の間にある機械式伝達部品の数を削減できます。

TDB-080-050-NH-RD-T DDモーターは、外径80 mm、高さ50 mmのコンパクトなダイレクトドライブ構造を採用しており、高精度な回転位置決めと安定したトルク出力が求められる用途に適しています。このモデルは、連続トルク0.6 N·m、ピークトルク2 N·m、最高回転速度450 rpmを実現します。RDエンコーダーを搭載し、Hallセンサーを使用しないセンサーレス設計により、高速応答、最小限のバックラッシュュ、滑らかな動作、高い高精度位置決めを提供します。自動ロータリーテーブル、精密検査システム、半導体装置、ハイエンド医療機器などの用途に適しています。