技術の継続的な進歩に伴い, ウエハ搬送ロボットは, 半導体製造業界の需要と課題に対応するため, より高度な自動化を徐々に実現しています。
ハーモニックドライブ減速機は, ゼロバックラッシ, 超高精度(角秒レベル), 軽量という特長により, ウエハ搬送アーム(Wafer Handler), 露光装置(Lithography), クリーンルーム対応機械などの装置で一般的に使用されています。
RV減速機減速機は, 高剛性, 高トルク, 長寿命であることから, 荷重搬送用ロボットアームのベース部分によく採用されています。
精密遊星減速機は, 高トルク密度とコンパクト構造を備えており, ウエハコンベヤベルト, インデックスロータリーテーブル, ウエハプリアライナなどの装置で広く使用されています。